产品功能
该型号为单轴激光干涉仪，根据反射镜的不同，可测量位移和角度。
工作原理
ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。640MHz的频差用于信号处理，这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。它特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
系统特点
*真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。
*全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。
* 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
*干涉镜集成在激光器里，光路调节极其简单。
* 采样频率更快，最高达1MHz。
*使用高精度温度传感器进行数据补偿。
*反射镜采用蔡司镜组，是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
技术参数
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系统参数 |
型号ZLM700 |
型号ZLM1700 |
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位移测量范围 |
5 m |
≤80 m |
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位移测量分辨率 |
5 pm |
5 pm |
| 位移测量精度 |
±0.1μm/m |
±0.1μm/m |
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角度测量范围 |
使用角锥反射镜：±12.5°
使用平面反射镜：±1.5角分 |
±22.5°
-- |
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角度测量分辨率（位移分辨率为0.1nm时） |
0.002角秒 |
0.002角秒 |
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波长 |
632.8nm |
632.8nm |
| 稳频精度 |
2x10^-8 |
2x10^-8 |
| 预热时长 |
10-20分钟 |
10-20分钟 |
| 最佳工作温度 |
15-30℃ |
15-30℃ |
| 最大移动速度 |
3 m/s |
3 m/s |
| 激光器含基座尺寸 |
133x91x54 mm |
227x91x67 mm |
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反射镜尺寸 |
φ 15x15 mm |
φ 25x36 mm |
| 数据处理器尺寸 |
450x400x150 mm |
450x400x150 mm |
| 激光器含基座重量 |
650 g |
最大820g |
| 反射镜重量 |
8 g |
70 g |
| 数据处理器重量 |
8 kg |
8 kg |
| 数据接口 |
RS232C、USB |
RS232C、USB |
| 激光器与数据处理器之间线缆长度 |
3 m （可选10 m） |
3 m （可选10 m） |
| 工作电源 |
100-240VAC，47-63Hz |
100-240VAC，47-63Hz |
| 激光安全等级 |
2M，II |
2M，II |
系统构成
1.单轴激光器及安装底座 一套
2.单轴反射镜 一个
3.单轴数据处理器 一套
4.环境补偿器 一套
系统示意图
资料下载
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