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产品销售: 技术支持: |
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位移/俯仰角/偏摆角同步测量激光干涉仪(型号ZLM900) |
产品功能
在同一光路方向,对被测物体进行位移、偏摆角和俯仰角的同步测量。
系统特点
*光导性激光器,体积小,重量轻。
*干涉镜集成在激光器里,光路调节极其简单。
*反射镜个性化设计,广泛应用于多种场合。
*三轴数据同步精度:20ns。
*所有3轴实时数据测量,无延时。
*使用高精度温度传感器进行数据补偿。
技术参数
型号ZLM900 |
参数 |
位移测量范围 |
5 m |
位移测量分辨率 |
20 pm |
位移测量精度 |
±0.1μm/m |
角度测量范围 |
使用角锥反射镜:±12.5°
使用平面反射镜:±1.5角分(建议距离小于2m) |
角度测量分辨率(位移分辨率为0.1nm时) |
0.002角秒 |
激光束间距 |
12 mm |
波长 |
632.8nm |
稳频精度 |
2x10^-8 |
预热时长 |
10-20分钟 |
最佳工作温度 |
15-30℃ |
激光器含基座尺寸 |
202x137x72 mm |
反射镜尺寸 |
45x45x20 mm |
数据处理器尺寸 |
450x450x150 mm |
激光器含基座重量 |
1.9 kg |
反射镜重量 |
80 g |
数据处理器重量 |
8 kg |
数据接口 |
RS232C、USB |
激光器与数据处理器之间线缆长度 |
3 m (可选10 m) |
工作电源 |
100-240VAC,47-63Hz |
激光安全等级 |
2M,II |
系统构成
1.三维激光器及安装底座 一套
2.三维反射镜 一个
3.三轴数据处理器 一套
4.环境补偿器 一套
系统示意图
资料下载
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