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位移/俯仰角/偏摆角同步测量激光干涉仪(型号ZLM900)

 

产品功能

在同一光路方向,对被测物体进行位移、偏摆角和俯仰角的同步测量。

 

系统特点

*光导性激光器,体积小,重量轻。

*干涉镜集成在激光器里,光路调节极其简单。

*反射镜个性化设计,广泛应用于多种场合。

*三轴数据同步精度:20ns。

*所有3轴实时数据测量,无延时。

*使用高精度温度传感器进行数据补偿。

 

技术参数

型号ZLM900

参数

位移测量范围

5 m

位移测量分辨率

20 pm

位移测量精度  ±0.1μm/m 

角度测量范围

使用角锥反射镜:±12.5°

使用平面反射镜:±1.5角分(建议距离小于2m)

角度测量分辨率(位移分辨率为0.1nm时)

0.002角秒

激光束间距

12 mm

波长

632.8nm

稳频精度

2x10^-8

预热时长  10-20分钟 
最佳工作温度  15-30℃ 
激光器含基座尺寸  202x137x72 mm 

反射镜尺寸

45x45x20 mm

数据处理器尺寸  450x450x150 mm 
激光器含基座重量  1.9 kg 
反射镜重量  80 g 
数据处理器重量  8 kg 
数据接口  RS232C、USB 
激光器与数据处理器之间线缆长度  3 m (可选10 m)
工作电源  100-240VAC,47-63Hz 
激光安全等级  2M,II 

 

 

系统构成

1.三维激光器及安装底座        一套

2.三维反射镜                  一个

3.三轴数据处理器              一套

4.环境补偿器                  一套

 

系统示意图

 

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